單硅晶片生產(chǎn)用甩干裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202020218832.1 申請日 -
公開（公告）號 CN212030032U 公開（公告）日 2020-11-27
申請公布號 CN212030032U 申請公布日 2020-11-27
分類號 F26B5/08(2006.01)I 分類 干燥;
發(fā)明人 沈培琴 申請（專利權(quán)）人 浙江貝盛新材料科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京艾皮專利代理有限公司 代理人 馬小輝
地址 313000浙江省湖州市吳興區(qū)織里鎮(zhèn)珍貝路800號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了單硅晶片生產(chǎn)用甩干裝置，包括甩干裝置殼體、控制箱、旋轉(zhuǎn)甩干機(jī)構(gòu)、熱吹風(fēng)機(jī)構(gòu)，所述甩干裝置殼體右側(cè)設(shè)置有所述控制箱，所述甩干裝置殼體內(nèi)部設(shè)置有所述旋轉(zhuǎn)甩干機(jī)構(gòu)，所述旋轉(zhuǎn)甩干機(jī)構(gòu)上部設(shè)置有所述熱吹風(fēng)機(jī)構(gòu)。有益效果在于：通過所述甩干裝置殼體實現(xiàn)裝置的密封，提高甩干裝置的密封性，通過所述旋轉(zhuǎn)甩干機(jī)構(gòu)和所述熱吹風(fēng)機(jī)構(gòu)實現(xiàn)對單硅晶片的甩干，通過干燥的質(zhì)量和干燥速度，保證干燥過程的清潔度。??