一種精密熱氦檢漏用電加熱元件和檢漏方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110472077.9 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN113532759A 公開(kāi)（公告）日 2021-10-22
申請(qǐng)公布號(hào) CN113532759A 申請(qǐng)公布日 2021-10-22
分類號(hào) G01M3/20（2006.01）I;H05B3/02（2006.01）I;H05B3/04（2006.01）I;H05B3/40（2006.01）I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 諶繼明;冷楨;段旭如;蔣世杰;王平懷;李濘;王焜;許敏;任元國(guó);周毅;陳新 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 成都國(guó)光電氣股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 核工業(yè)專利中心 代理人 董和煦
地址 610041四川省成都市雙流西南航空港黃荊路5號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明屬于元器件技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種精密熱氦檢漏用電加熱元件和檢漏方法。本發(fā)明中，電加熱元件安裝在加熱棒套筒內(nèi)部，加熱棒套筒開(kāi)口部設(shè)有電加熱棒連接法蘭，與內(nèi)部的電加熱棒連接；加熱棒套筒的外壁上安裝有套筒連接法蘭，在電加熱棒連接法蘭與套筒連接法蘭之間的加熱棒套筒上，連接有三通接頭，三通接頭與加熱棒套筒內(nèi)部連通，另一端連接至氦氣輸入口；真空室底部開(kāi)有通孔，通孔上設(shè)有與套筒連接法蘭相配合的安裝基礎(chǔ)，加熱棒套筒插入通孔內(nèi)，通過(guò)套筒連接法蘭與真空室固定安裝。本發(fā)明能有效降低電加熱元件高溫下的漏率并能實(shí)現(xiàn)大型真空腔室內(nèi)被檢工件均勻高效升溫的技術(shù)要求，滿足大型真空腔室真空室加熱系統(tǒng)的使用需求。