條紋相移與條紋細(xì)分聯(lián)合控制的超精密位移定位檢測方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201410401098.1 申請日 -
公開（公告）號 CN104165595B 公開（公告）日 2017-01-11
申請公布號 CN104165595B 申請公布日 2017-01-11
分類號 G01B11/04(2006.01)I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 時輪;陳家寶 申請（專利權(quán)）人 常州飛石機(jī)器人系統(tǒng)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海交達(dá)專利事務(wù)所 代理人 王毓理;王錫麟
地址 200240 上海市閔行區(qū)東川路800號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種儀器及其部件的位置或狀態(tài)的調(diào)整領(lǐng)域的基于條紋相移與條紋細(xì)分聯(lián)合控制的超精密位移定位檢測方法，首先對線性位移平臺進(jìn)行粗定位，當(dāng)光柵定位距離小于光柵干涉儀參考光柵的光柵常數(shù)時，將干涉條紋相移，然后對條紋信號進(jìn)行細(xì)分處理，當(dāng)線性位移平臺運(yùn)動到預(yù)定的條紋細(xì)分結(jié)束區(qū)間時停止運(yùn)動，實現(xiàn)微定位。本發(fā)明通過干涉條紋的相移提高檢測分辨率，通過低倍數(shù)的條紋細(xì)分完成模擬量檢測的反饋控制，進(jìn)而實現(xiàn)超精密的位移定位檢測控制。