一種實(shí)現(xiàn)板狀樣品高分辨率大視野CL成像的掃描方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201410381423.2 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN105319225A 公開(kāi)（公告）日 2016-02-10
申請(qǐng)公布號(hào) CN105319225A 申請(qǐng)公布日 2016-02-10
分類號(hào) G01N23/04(2006.01)I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 王雅霄;魏存峰;劉寶東;舒巖峰;闕介民;王燕芳;孟凡輝;周俊光;袁路路;邵雨濛;王哲;李卓昕;申善威;魏龍 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 銳影檢測(cè)科技（濟(jì)南）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京律智知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 中國(guó)科學(xué)院高能物理研究所
地址 100049 北京市石景山區(qū)玉泉路19號(hào)乙多學(xué)科大樓1113
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提出一種實(shí)現(xiàn)板狀樣品高分辨率大視野CL成像的掃描方法。本方法包括步驟：輸入?yún)?shù)，調(diào)整并確認(rèn)拼接子圖像的數(shù)目及方式，數(shù)據(jù)采集過(guò)程，數(shù)據(jù)拼接，輸出結(jié)果等。采用在高放大比條件下對(duì)板狀樣品分塊掃描采集投影數(shù)據(jù)，利用正方形“田字格”或六邊形“蜂窩狀”方式進(jìn)行圖像拼接的方法，最終得到大面積板狀樣品的高分辨率大視野斷層圖像。