一種檢測機械臂刮傷的方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111547662.7 申請日 -
公開（公告）號 CN114193451A 公開（公告）日 2022-03-18
申請公布號 CN114193451A 申請公布日 2022-03-18
分類號 B25J9/16（2006.01）I 分類 手動工具；輕便機動工具；手動器械的手柄；車間設備；機械手;
發(fā)明人 胡海天;連仲淵 申請（專利權）人 上海華虹宏力半導體制造有限公司
代理機構 上海思微知識產(chǎn)權代理事務所（普通合伙） 代理人 周耀君
地址 201203上海市浦東新區(qū)中國（上海）自由貿(mào)易試驗區(qū)祖沖之路1399號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種檢測機械臂刮傷的方法，包括：以晶圓圓心為坐標原點，讀取缺陷圖譜上的所有缺陷點坐標信息；剔除離群缺陷點；對剩余缺陷點進行函數(shù)擬合，獲得擬合函數(shù)；計算擬合函數(shù)與晶圓圓心之間的距離L，則寬度2L視為產(chǎn)生刮傷的機械臂之寬度尺寸；將寬度2L與機械臂之寬度尺寸的數(shù)據(jù)集進行比對，定位與擬合尺寸2L最接近的機械臂為產(chǎn)生刮傷的機械臂。本發(fā)明通過對缺陷圖譜之缺陷點的離群缺陷點剔除后對剩余缺陷點進行函數(shù)擬合，計算擬合函數(shù)與晶圓圓心之間的距離L，并2L將視為產(chǎn)生刮傷的機械臂尺寸，再將寬度2L與機械臂尺寸的數(shù)據(jù)集進行比對，差值最小的機械臂則被定位為產(chǎn)生刮傷的機械臂，不僅高效、準確，而且及時避免晶圓損失，提高產(chǎn)品質(zhì)量，值得業(yè)界推廣使用。