一種多晶硅棒空間傾角激光測量裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201720010873.X 申請日 -
公開（公告）號 CN206339206U 公開（公告）日 2017-07-18
申請公布號 CN206339206U 申請公布日 2017-07-18
分類號 G01B11/26 分類 測量；測試;
發(fā)明人 白榮林;徐靈通;嚴曜暉;曲宴良;顧國寶;張斌;阮紅坤;李鴻祥;楊文濤;寧涓;張軍;張平;宋奎 申請（專利權(quán)）人 云南冶金云芯硅材股份有限公司
代理機構(gòu) 昆明知道專利事務(wù)所（特殊普通合伙企業(yè)） 代理人 昆明冶研新材料股份有限公司;云南眾誠士德柔性自動化設(shè)備有限公司;云南冶金云芯硅材股份有限公司
地址 655051 云南省曲靖市經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)三江大道
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種多晶硅棒空間傾角激光測量裝置，包括底部豎直鉸接于擺動機構(gòu)上部的支架，固定設(shè)置于支架上部且與鉸接部旋轉(zhuǎn)中心的垂直線水平對稱的激光測距儀Ⅰ、激光測距儀Ⅱ，固定設(shè)置于支架下部且與激光測距儀Ⅰ或激光測距儀Ⅱ中心連線與過鉸接部旋轉(zhuǎn)中心垂直線平行的激光測距儀Ⅲ，擺動機構(gòu)與移動機構(gòu)固定連接，移動機構(gòu)設(shè)置于底座并沿支架的擺動方向相對底座水平移動，激光測距儀Ⅰ、激光測距儀Ⅱ及激光測距儀Ⅲ與控制裝置電連接，控制裝置用于將激光測距儀Ⅰ、激光測距儀Ⅱ和激光測距儀Ⅲ的測量信號轉(zhuǎn)化為多晶硅棒空間傾角值并輸出。本實用新型具有結(jié)構(gòu)簡單、環(huán)境適應(yīng)能力強、測量速度快且精度高、成本低的特點。