測量待測氣體中磷化氫含量的方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201610351302.2 申請日 -
公開（公告）號 CN106066322A 公開（公告）日 2016-11-02
申請公布號 CN106066322A 申請公布日 2016-11-02
分類號 G01N21/71(2006.01)I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 毛智慧;張云暉;亢若谷;金波;錢津旺;李曉華;韓小葉;郭秀紅;盧華;曾娟 申請（專利權）人 云南冶金云芯硅材股份有限公司
代理機構(gòu) 北京清亦華知識產(chǎn)權代理事務所（普通合伙） 代理人 昆明冶研新材料股份有限公司;云南冶金云芯硅材股份有限公司
地址 655011 云南省昆明市曲靖經(jīng)濟技術開發(fā)區(qū)三江大道9號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了測量待測氣體中磷化氫含量的方法。該方法包括：采集預定體積的待測氣體，并利用磷化氫吸收液吸收所述待測氣體中的磷化氫，以便得到吸收后液；以及利用ICP?AES儀檢測對所述吸收后液進行光譜檢測，基于所述光譜檢測結(jié)果確定所述氣體中磷化氫的含量。該方法利用磷化氫吸收液吸收富集待測氣體中的磷化氫，再利用高精度的ICP?AES儀檢測富集了磷化氫的吸收后液中的磷元素的濃度，從而得到待測氣體中磷化氫的含量。相對于現(xiàn)有的不經(jīng)富集直接利用分析儀器檢測氣體中磷化氫的方法，該方法的準確性和精密度顯著提高，可用于檢測含低濃度磷化氫氣體的磷含量。