一種氯硅烷廢氣生產(chǎn)納米二氧化硅并副產(chǎn)鹽酸的方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201510467069.X 申請日 -
公開（公告）號 CN105036141B 公開（公告）日 2017-11-10
申請公布號 CN105036141B 申請公布日 2017-11-10
分類號 C01B33/12(2006.01)I;C01B7/01(2006.01)I;B82Y30/00(2011.01)I 分類 無機(jī)化學(xué);
發(fā)明人 黃兵;宋東明;陳樑;羅平;李銀光;沈宗喜;章江洪;馬啟坤;宋良杰;徐靈通;張雯雯;丁炳恒;梁景坤;王光躍;和雪飆;梁永坤;鄧亮;王嶺;董森林;趙義 申請（專利權(quán)）人 云南冶金云芯硅材股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 650093 云南省昆明市五華區(qū)學(xué)府路253號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開一種氯硅烷廢氣生產(chǎn)納米二氧化硅并副產(chǎn)鹽酸的方法，屬于多晶硅行業(yè)氯硅烷廢氣資源化領(lǐng)域。本發(fā)明所述方法以氯硅烷廢氣與水蒸汽發(fā)生反應(yīng)，反應(yīng)產(chǎn)物經(jīng)氣固分離獲得納米二氧化硅，氣固分離出來的氣體經(jīng)過冷卻，絕大部分水蒸汽冷凝下來，并吸收了部分氯化氫，經(jīng)過氣液分離后，剩余氣體通過鹽酸和工業(yè)水的淋洗，獲得高濃度鹽酸。本發(fā)明以水蒸汽與氯硅烷廢氣發(fā)生氣汽水解反應(yīng)，可以獲得納米二氧化硅，用工業(yè)水和鹽酸淋洗氣固分離尾氣，獲得濃鹽酸。本發(fā)明主要以水蒸汽作為混合氯硅烷廢氣水解反應(yīng)物，高濃度鹽酸作為吸收劑，減少雜質(zhì)元素帶入，保證二氧化硅和濃鹽酸的質(zhì)量，本發(fā)明既實(shí)現(xiàn)了氯硅烷廢氣的無害化處置，又實(shí)現(xiàn)了廢氣中硅和氯元素的資源化。