三氯氫硅尾氣回收裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201020701284.4 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN201949786U 公開(kāi)（公告）日 2011-08-31
申請(qǐng)公布號(hào) CN201949786U 申請(qǐng)公布日 2011-08-31
分類(lèi)號(hào) B01D53/18(2006.01)I;B01D53/047(2006.01)I;C01B7/01(2006.01)I;C01B3/50(2006.01)I 分類(lèi) 一般的物理或化學(xué)的方法或裝置;
發(fā)明人 宋宜華 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 淄博寶運(yùn)化工廠
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 255000 山東省淄博市高新區(qū)新華工業(yè)園東區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及一種三氯氫硅生產(chǎn)裝置，具體是一種三氯氫硅尾氣回收裝置，其特征是，包括采用氣體管路依次連接的吸收塔、原料氣換熱器、變壓吸附裝置，原料氣換熱器與吸收塔還采用原料氣管路連接；吸收塔采用液體管路依次連接吸附劑熱交換器、脫洗塔，脫洗塔吸收塔還通過(guò)吸附劑管路連接。本實(shí)用新型尾氣處理徹底，可獲得99.99％的氫氣和工業(yè)用HCI，經(jīng)濟(jì)效益顯著，且不排放廢氣、廢液。