尾氣處理裝置及MO源精餾提純系統(tǒng)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201820796947.1 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)(公告)號(hào) CN208911758U 公開(kāi)(公告)日 2019-05-31
申請(qǐng)公布號(hào) CN208911758U 申請(qǐng)公布日 2019-05-31
分類(lèi)號(hào) B01D53/18(2006.01)I; B01D3/14(2006.01)I 分類(lèi) 一般的物理或化學(xué)的方法或裝置;
發(fā)明人 吳偉; 喬雙印; 藍(lán)承發(fā); 黃明偉; 徐林勝 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人 江西佳因光電材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京潤(rùn)平知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 江西佳因光電材料有限公司
地址 330013 江西省南昌市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)英雄大道2266號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及尾氣處理技術(shù)領(lǐng)域,公開(kāi)了一種尾氣處理裝置及MO源精餾提純系統(tǒng)。所述尾氣處理裝置包括:用于對(duì)尾氣進(jìn)行冷卻以使所述尾氣液化的第一緩沖罐(1)以及與所述第一緩沖罐連接的用于接收并吸附從所述第一緩沖罐(1)出來(lái)的尾氣的密封吸附裝置(3),所述第一緩沖罐(1)與所述密封吸附裝置(3)之間的連通通路上設(shè)置有用于容納惰性氣體的第二緩沖罐(4)。本實(shí)用新型裝置的成本更低,密封性更高,極大的提高了尾氣處理過(guò)程中的安全性,能夠有效避免空氣進(jìn)入發(fā)生危險(xiǎn),徹底解決了傳統(tǒng)手套箱維護(hù)費(fèi)用高、密封性不好所帶來(lái)的安全及使用不便的問(wèn)題。