基于多重稀釋法的半導(dǎo)體溶劑ICP-MS測定方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111257769.8 申請日 -
公開（公告）號 CN113933376A 公開（公告）日 2022-01-14
申請公布號 CN113933376A 申請公布日 2022-01-14
分類號 G01N27/626（2021.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 宋牧函;孔磊;唐斌;王翼 申請（專利權(quán)）人 雅邦綠色過程與新材料研究院南京有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京眾聯(lián)專利代理有限公司 代理人 許小莉
地址 210047江蘇省南京市六合區(qū)江北新區(qū)長蘆街道園區(qū)西路118號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種基于多重稀釋法的半導(dǎo)體化學(xué)品ICP?MS測定方法，包括如下步驟：首先將不能與水混合的待測定的半導(dǎo)體溶劑，加入助溶溶劑成為混合有機(jī)溶劑；然后將混合有機(jī)溶劑加純水稀釋得到1#稀釋樣品；再將1#稀釋樣品再加入純水進(jìn)行稀釋得到2#稀釋樣品；對于待測定的半導(dǎo)體溶劑中的一種元素，以1#稀釋樣品，用電感耦合等離子質(zhì)譜儀掃描得到標(biāo)準(zhǔn)曲線并計算出1#稀釋樣品的濃度C1；同理計算出2#稀釋樣品中該種元素的濃度C2；并將結(jié)果帶入擬合算法公式，得到該元素在待測定的半導(dǎo)體溶劑中的濃度。本發(fā)明通過同一樣品不同稀釋倍數(shù)法，對混合基體ICP?MS測定的信號值進(jìn)行背景擬合運(yùn)算，實現(xiàn)痕量元素的準(zhǔn)確測定。