一種化學(xué)氣相沉積爐進(jìn)氣分布裝置
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202021357059.3 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN212770949U | 公開（公告）日 | 2021-03-23 |
| 申請公布號(hào) | CN212770949U | 申請公布日 | 2021-03-23 |
| 分類號(hào) | C23C16/455(2006.01)I;B01D46/12(2006.01)I | 分類 | 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕; |
| 發(fā)明人 | 賀鵬博;周帆 | 申請（專利權(quán)）人 | 湖南鎧欣新材料科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 長沙軒榮專利代理有限公司 | 代理人 | 黃藝平 |
| 地址 | 413000湖南省益陽市高新區(qū)東部產(chǎn)業(yè)園標(biāo)準(zhǔn)化廠房E區(qū)E1棟北側(cè)一半 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型提供一種化學(xué)氣相沉積爐進(jìn)氣分布裝置。所述化學(xué)氣相沉積爐進(jìn)氣分布裝置包括：氣相沉積爐進(jìn)氣分布設(shè)備本體；氣相沉積爐體，所述氣相沉積爐體包含在氣相沉積爐進(jìn)氣分布設(shè)備本體內(nèi)；排氣孔，所述排氣孔開設(shè)在氣相沉積爐體的頂部；環(huán)形連接板，所述環(huán)形連接板固定安裝在氣相沉積爐體的頂部；導(dǎo)流管一，所述導(dǎo)流管一固定安裝在環(huán)形連接板上；方形收納箱，所述方形收納箱設(shè)置在氣相沉積爐體的一側(cè)，所述方形收納箱的頂部設(shè)有開口。本實(shí)用新型提供的化學(xué)氣相沉積爐進(jìn)氣分布裝置具有使用方便，能夠簡單有效的對排出的空氣進(jìn)行四級(jí)過濾，避免污染資源，操作起來簡單便捷的優(yōu)點(diǎn)。?? |
