一種化學(xué)氣相沉積爐的粉塵收集裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202021013623.X 申請日 -
公開（公告）號 CN213193032U 公開（公告）日 2021-05-14
申請公布號 CN213193032U 申請公布日 2021-05-14
分類號 B01D50/00;C23C16/00 分類 一般的物理或化學(xué)的方法或裝置;
發(fā)明人 賀鵬博;周帆 申請（專利權(quán)）人 湖南鎧欣新材料科技有限公司
代理機構(gòu) 長沙軒榮專利代理有限公司 代理人 張勇
地址 413000 湖南省益陽市高新區(qū)東部產(chǎn)業(yè)園標準化廠房E區(qū)E1棟北側(cè)一半
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型提供一種化學(xué)氣相沉積爐的粉塵收集裝置?；瘜W(xué)氣相沉積爐的粉塵收集裝置，包括：沉積爐本體；連接管，所述連接管固定安裝在所述沉積爐本體的頂部；收集箱，所述收集箱設(shè)于所述沉積爐本體的一側(cè)，所述連接管遠離所述沉積爐本體的一端延伸至所述收集箱內(nèi)。本實用新型提供的化學(xué)氣相沉積爐的粉塵收集裝置通過設(shè)置第一濾布，能夠?qū)⒎蹓m阻擋在收集箱內(nèi)，設(shè)置多個清理絲，能夠使得第一濾布能夠保持良好的通透性，從而避免較多的粉塵附著在第一濾布上；設(shè)置第二濾布，能夠使風機在關(guān)閉的情況下，粉塵回流到沉積爐本體內(nèi)；設(shè)置V形板，使得進入收集箱內(nèi)的粉塵大部分被阻擋在V形板的下方，更有利于粉塵的沉降。