碳化硅化學氣相沉積爐的進氣裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010560400.3 申請日 -
公開（公告）號 CN111560597B 公開（公告）日 2022-07-01
申請公布號 CN111560597B 申請公布日 2022-07-01
分類號 C23C16/32（2006.01）I;C23C16/448（2006.01）I;C23C16/455（2006.01）I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 賀鵬博;周帆 申請（專利權）人 湖南鎧欣新材料科技有限公司
代理機構 長沙軒榮專利代理有限公司 代理人 -
地址 413000湖南省益陽市高新區(qū)東部產(chǎn)業(yè)園標準化廠房E區(qū)E1棟北側(cè)一半
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種碳化硅化學氣相沉積爐的進氣裝置，包括：儲液室、汽化室、混合室和稀釋室，所述儲液室設置有一注液口，所述混合室設置有一混合管道，所述稀釋室設置有一稀釋管道，所述混合管道用于通入氫氣，所述稀釋管道用于通入氬氣，所述汽化室設置在所述儲液室上方，所述汽化室通過一導液汽化裝置與所述儲液室連通，所述汽化室與混合室通過管道相互連通，所述混合室與稀釋室通過管道連通，所述稀釋室設置有一輸出管道，所述輸出管道用于連通沉積爐。本發(fā)明結(jié)構設計合理，操作便捷，進氣過程氣體不會液化堵塞管道，能夠有效生成高純度的MTS氣體并且氣體內(nèi)各成分比例穩(wěn)定。