一種用于化學(xué)氣相沉積爐的活接頭導(dǎo)氣工裝

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202021346105.X 申請日 -
公開（公告）號 CN212776068U 公開（公告）日 2021-03-23
申請公布號 CN212776068U 申請公布日 2021-03-23
分類號 F16L19/03(2006.01)I;F16L19/065(2006.01)I;F16L19/07(2006.01)I 分類 工程元件或部件；為產(chǎn)生和保持機(jī)器或設(shè)備的有效運(yùn)行的一般措施；一般絕熱;
發(fā)明人 賀鵬博;周帆 申請（專利權(quán)）人 湖南鎧欣新材料科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 長沙軒榮專利代理有限公司 代理人 黃藝平
地址 413000湖南省益陽市高新區(qū)東部產(chǎn)業(yè)園標(biāo)準(zhǔn)化廠房E區(qū)E1棟北側(cè)一半
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型提供一種用于化學(xué)氣相沉積爐的活接頭導(dǎo)氣工裝。用于化學(xué)氣相沉積爐的活接頭導(dǎo)氣工裝，包括：第一連接管；外絲管，所示外絲管固定套設(shè)在所示第一連接管上；第一螺母，所示第一螺母固定套設(shè)在所示第一連接管上，所述第一螺母與所述外絲管固定連接；楔形管，所述楔形管固定套設(shè)在所述第一連接管上；第二連接管，所述第二連接管設(shè)于所述第一連接管的一端；內(nèi)絲塊，所述內(nèi)絲塊滑動(dòng)安裝在所述第二連接管上。本實(shí)用新型提供的用于化學(xué)氣相沉積爐的活接頭導(dǎo)氣工裝具有對活接頭的導(dǎo)氣起到雙重密封作用、降低密封圈更換頻率、避免因沉積爐震動(dòng)導(dǎo)致活接頭鎖緊螺母松動(dòng)而造成氣體泄漏的優(yōu)點(diǎn)。??