一種基于多目標(biāo)優(yōu)化的光刻工藝分辨率增強方法及裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201911123888.7 申請日 -
公開（公告）號 CN110597023B 公開（公告）日 2020-03-17
申請公布號 CN110597023B 申請公布日 2020-03-17
分類號 G03F7/20 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 周潔云;崔紹春;陳雪蓮 申請（專利權(quán)）人 墨研計算科學(xué)（南京）有限公司
代理機構(gòu) 北京弘權(quán)知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 墨研計算科學(xué)（南京）有限公司
地址 210031 江蘇省南京市江北新區(qū)星火路9號軟件大廈B座407-80室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請涉及半導(dǎo)體生產(chǎn)的光刻工藝技術(shù)領(lǐng)域，具體而言，涉及一種基于多目標(biāo)優(yōu)化的光刻工藝分辨率增強方法及裝置。本申請?zhí)峁┮环N基于多目標(biāo)優(yōu)化的光刻工藝分辨率增強方法，包括以下步驟：通過劃分多個圓重疊的方法得到照明光源的區(qū)域劃分用于優(yōu)化光源；確定亞分辨率輔助圖形SRAF位置變量的初始位置用于優(yōu)化掩膜；使用實數(shù)編碼的方法建立優(yōu)化變量的種群；對種群中單一染色體通過計算光刻模型確定多目標(biāo)優(yōu)化策略的評價標(biāo)準(zhǔn)函數(shù)；使用遺傳進化算法對當(dāng)前種群重復(fù)進行“評價?選擇?交叉?變異”計算，獲得評價標(biāo)準(zhǔn)函數(shù)的迭代更新；通過解碼最終種群得到多目標(biāo)優(yōu)化策略的解集帕累托支撐解。