一種刻蝕工藝的仿真方法及裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110905274.5 申請日 -
公開（公告）號 CN113343505B 公開（公告）日 2021-11-05
申請公布號 CN113343505B 申請公布日 2021-11-05
分類號 G06F30/20（2020.01）I 分類 計算；推算；計數(shù);
發(fā)明人 紀冬梅;薛潔 申請（專利權(quán)）人 墨研計算科學(xué)（南京）有限公司
代理機構(gòu) 北京弘權(quán)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 逯長明;許偉群
地址 210000江蘇省南京市江北新區(qū)星火路9號軟件大廈B座407-80室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請?zhí)峁┮环N刻蝕工藝的仿真方法及裝置。所述方法包括：根據(jù)待刻蝕對象的第一刻蝕參數(shù)以及刻蝕物質(zhì)的第二刻蝕參數(shù)確定刻蝕速率后，再結(jié)合預(yù)設(shè)的刻蝕方式，確定水平單位速度和垂直單位速度，按照該水平單位速度和垂直單位速度，對待刻蝕對象幾何剖面結(jié)構(gòu)上的初始刻蝕輪廓進行目標(biāo)時長的仿真刻蝕，迭代得到刻蝕后的仿真輪廓，如果仿真輪廓與需求輪廓的輪廓差異較大，則重新調(diào)整目標(biāo)時長，再次進行刻蝕仿真。如此，本申請?zhí)峁┑姆椒梢栽陔娮釉O(shè)備上對待刻蝕對象的整個刻蝕過程剖面的變化進行仿真，可重復(fù)性較高，同時也無需在實物上進行真實試驗，節(jié)約了試驗時間，也節(jié)約了成本。