一種對水路流量實時監(jiān)測的電極冷卻裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120204355.8 申請日 -
公開（公告）號 CN214592060U 公開（公告）日 2021-11-02
申請公布號 CN214592060U 申請公布日 2021-11-02
分類號 H05B6/54（2006.01）I;H05K7/20（2006.01）I 分類 其他類目不包含的電技術(shù);
發(fā)明人 陳禮梅;顧軍魏 申請（專利權(quán)）人 江蘇新順微電子股份有限公司
代理機構(gòu) 江陰市輕舟專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 孫燕波
地址 214400江蘇省無錫市江陰市高新區(qū)長山大道78號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及一種對水路流量實時監(jiān)測的電極冷卻裝置，屬于電極冷卻裝置技術(shù)領(lǐng)域。包括多組水路監(jiān)測單元，多組所述水路監(jiān)測單元并列布置，多組所述水路監(jiān)測單元進口并聯(lián)后通過出水總管與冷水機出口連通，多組所述水路監(jiān)測單元出口并聯(lián)后通過進水總管與冷水機進口連接；所述水路監(jiān)測單元上分別設(shè)置腔體壓力傳感器，且所述腔體壓力傳感器分別通過對應(yīng)的第一連接管與主機連接，所述第一連接管還與水路監(jiān)測單元連接；所述主機通過信號線與特氣柜連接，所述特氣柜通過第二連接管與進水總管連通。本申請第一水流量傳感器分別對對應(yīng)的腔體內(nèi)的水流量進行實時檢測，主機終止對應(yīng)的腔體執(zhí)行工藝程序，避免了腔體真空異常的情況發(fā)生，提高了產(chǎn)品質(zhì)量。