一種適用于非標準尺寸硅片的清洗片架

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120204344.X 申請日 -
公開（公告）號 CN214600919U 公開（公告）日 2021-11-05
申請公布號 CN214600919U 申請公布日 2021-11-05
分類號 B08B13/00（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I;H01L21/673（2006.01）I 分類 清潔;
發(fā)明人 呂偉;陳磊;錢如平 申請（專利權(quán)）人 江蘇新順微電子股份有限公司
代理機構(gòu) 江陰市輕舟專利代理事務所（普通合伙） 代理人 孫燕波
地址 214400江蘇省無錫市江陰市高新區(qū)長山大道78號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及一種適用于非標準尺寸硅片的清洗片架，屬于半導體清洗技術(shù)領(lǐng)域。包括片架本體，所述片架本體設(shè)于自動清洗機的標準片架內(nèi)，所述片架本體與標準片架內(nèi)腔相匹配，所述片架本體表面開設(shè)用于放置非標硅片的置物單元，且所述置物單元上下貫通。所述置物單元分別包括若干均勻間隔設(shè)置的卡槽，且相鄰所述卡槽之間的間距與標準片架上的置物槽相匹配，所述卡槽的大小與非標硅片相匹配。所述置物單元設(shè)有多個，多個所述置物單元并列布置。所述片架本體為特氟龍材質(zhì)制成件。本申請放于現(xiàn)有自動清洗機的標準片架內(nèi)，標準片架對片架本體起到支撐作用，使得片架本體卡槽中的非標準尺寸的硅片在自動清洗機內(nèi)自動清洗，省時省力。