適用于半導(dǎo)體低溫變溫磁電性能的測試系統(tǒng)及測試方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110692564.6 申請日 -
公開（公告）號 CN113419157A 公開（公告）日 2021-09-21
申請公布號 CN113419157A 申請公布日 2021-09-21
分類號 G01R31/26（2014.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 鄭律;張群力;孟慶黨;沈壽珍;俞振中 申請（專利權(quán)）人 浙江森尼克半導(dǎo)體有限公司
代理機構(gòu) 南京樂羽知行專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 孫承堯
地址 311200浙江省杭州市蕭山區(qū)杭州灣信息港C座507
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請?zhí)峁┮环N適用于半導(dǎo)體低溫變溫磁電性能的測試系統(tǒng)，包括：柜體，形成有一個柜內(nèi)空間，試樣罐體，形成有一個罐體空間；磁性元件，使罐體空間具有預(yù)設(shè)磁場；冷源裝置，形成有一個用于容納冷源介質(zhì)的冷源空間；介質(zhì)導(dǎo)管，使罐體空間和冷源空間連通；升降立柱，設(shè)置于柜體上方；升降滑臺，能沿第一方向相對升降立柱滑動；試樣夾板，相對升降滑臺轉(zhuǎn)動；其中，罐體空間頂部設(shè)有罐體開口，柜體設(shè)有柜體開口以使罐體開口露出柜體；升降滑臺滑動到預(yù)設(shè)位置時試樣夾板容納在罐體空間中存在預(yù)設(shè)磁場的區(qū)域。本申請的有益之處在于提供一種結(jié)構(gòu)合理可靠并且降溫方案較為安全的適用于半導(dǎo)體低溫變溫磁電性能的測試系統(tǒng)及測試方法。