一種離子輔助濺射沉積制備TiN刀具涂層方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010940998.9 申請日 -
公開（公告）號 CN111996509A 公開（公告）日 2020-11-27
申請公布號 CN111996509A 申請公布日 2020-11-27
分類號 C23C14/48(2006.01)I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 丁力;肖菲;張法光;楊麗萍;韓洪雄 申請（專利權(quán)）人 貴州省機(jī)電研究設(shè)計院
代理機(jī)構(gòu) 杭州新源專利事務(wù)所（普通合伙） 代理人 貴州省機(jī)電研究設(shè)計院
地址 550000貴州省貴陽市云巖區(qū)香獅路236號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種離子輔助濺射沉積制備TiN刀具涂層方法，包括以下步驟；A、采用N離子對刀具表面氧化層進(jìn)行離子清洗；B、通過離子注入N的方法在刀刃近表面和表面形成注入層；C、在注入層的表面同時進(jìn)行氮離子注入和TiN離子濺射，沉積一層硬質(zhì)TiN沉積層。本發(fā)明先采用離子注入的方法在刀具基體表面形成注入層，增加刀刃的硬度、強(qiáng)度及耐摩擦性能的同時，改善刀具表面與后續(xù)涂層間的物理、化學(xué)匹配性能，為獲得高結(jié)合強(qiáng)度刀具涂層奠定基礎(chǔ)。然后通過離子注入法輔助離子濺射沉積方法制備較厚涂層，可以進(jìn)一步提高涂層的結(jié)合強(qiáng)度，使得刀具在生產(chǎn)加工時涂層不會因沖擊導(dǎo)致脫落而影響加工效率和效果，可滿足更高、更苛刻的環(huán)境要求。??