一種藍寶石襯底上的發(fā)光二極管芯片的制作方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN200610077626.8 申請日 -
公開（公告）號 CN101055908B 公開（公告）日 2010-05-26
申請公布號 CN101055908B 申請公布日 2010-05-26
分類號 H01L33/00(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 何曉光;武勝利;曾凡明;王強;張舜;郭建華;肖志國 申請（專利權）人 大連路美芯片科技有限公司
代理機構 - 代理人 -
地址 116025 遼寧省大連市高新園區(qū)七賢嶺高能街1號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種藍寶石襯底上的發(fā)光二極管芯片的制作方法，特別涉及一種在藍寶石襯底上的發(fā)光二極管芯片的切割分離方法。本發(fā)明的重點在于利用外延層與藍寶石襯底的晶格失配產生的應力場來控制切割劈裂方向；方法是通過干法刻蝕部分外延層，導致在沿表面方向應力場的變化，有效控制劈裂方向。此方法將提高發(fā)光二極管芯片在切割分離過程中的成品率。同時可以在維持成品率的基礎上，減小切割道的尺寸。