一種耐熱性光刻膠組合物

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201810301085.5 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN108535960A 公開（公告）日 2018-09-14
申請(qǐng)公布號(hào) CN108535960A 申請(qǐng)公布日 2018-09-14
分類號(hào) G03F7/004;G03F7/008;G03F7/038 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 康文兵 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 倍晶新材料（山東）有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 200233 上海市徐匯區(qū)桂平路333號(hào)6號(hào)樓602室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種耐熱性光刻膠組合物，按重量份數(shù)計(jì)，包括：a）基礎(chǔ)光刻膠；b）耐熱性樹脂；其中，所述基礎(chǔ)光刻膠主要組分為酚醛樹脂和光敏劑，所述耐熱性樹脂為顯影液可溶解的含酰胺或酰亞胺基樹脂。本發(fā)明的耐熱性光刻膠組合物在曝光顯影后，光刻膠的耐熱性能提高；以及在蝕刻和離子注入等工藝時(shí)，可以更好的承受由于工藝帶來的溫度上升造成的尺寸變動(dòng)，保持光刻膠不軟化變形以達(dá)到工藝穩(wěn)定性，保證了工藝良好的收率。