透鏡矩陣制造系統(tǒng)及方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202011632070.0 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN112817072A 公開(kāi)（公告）日 2021-05-18
申請(qǐng)公布號(hào) CN112817072A 申請(qǐng)公布日 2021-05-18
分類(lèi)號(hào) G02B3/00;G02F1/29;G02F1/1337 分類(lèi) 光學(xué);
發(fā)明人 代林茂;楊陽(yáng);黃暉輝;李曉春 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 深圳市麓邦技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 518000 廣東省深圳市南山區(qū)西麗街道西麗社區(qū)打石一路深圳國(guó)際創(chuàng)新谷六棟（萬(wàn)科云城六期二棟）A座2103
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及透鏡制造技術(shù)領(lǐng)域，公開(kāi)一種透鏡矩陣制造系統(tǒng)及方法，以快速制備隨機(jī)F/#的透鏡矩陣。系統(tǒng)包括：基于馬赫增德?tīng)柕母缮姘l(fā)生裝置，耦合透鏡系統(tǒng)，設(shè)置在其中一道分束光路上的參考鏡，在掩膜板的下方設(shè)有受控制器控制的用于承載透鏡矩陣的三軸位移臺(tái)，穿過(guò)掩膜板通光孔的光包括一束未經(jīng)過(guò)參考透鏡的平行光和一束經(jīng)過(guò)參考透鏡的發(fā)散光；控制器用于生成隨機(jī)F/#的數(shù)據(jù)矩陣，并將F/#數(shù)據(jù)矩陣轉(zhuǎn)換成位移臺(tái)的三軸數(shù)據(jù)，根據(jù)三軸數(shù)據(jù)控制三軸位移臺(tái)在曝光過(guò)程中的位移狀態(tài)切換，得到隨機(jī)F/#的透鏡矩陣；且在制作中，不同F(xiàn)/#的透鏡單元與掩膜板之間的間距不同并成特定的函數(shù)關(guān)系，其函數(shù)關(guān)系以參考鏡的焦距為基準(zhǔn)進(jìn)行構(gòu)建。