一種壓電片尺寸測(cè)量裝置及其測(cè)量方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110628424.2 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113418458A 公開（公告）日 2021-09-21
申請(qǐng)公布號(hào) CN113418458A 申請(qǐng)公布日 2021-09-21
分類號(hào) G01B11/08（2006.01）I;G01B11/24（2006.01）I;G01B11/06（2006.01）I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 張謹(jǐn)強(qiáng);郝澤仁;徐嬋娜;葉林森;沈凡 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 浙江啟爾機(jī)電技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 杭州斯可睿專利事務(wù)所有限公司 代理人 林君勇
地址 311305浙江省杭州市臨安區(qū)青山湖街道勵(lì)新路99號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種壓電片尺寸測(cè)量裝置及其測(cè)量方法，測(cè)量平臺(tái)上端面設(shè)載片測(cè)試臺(tái)，載片測(cè)試臺(tái)與水平面間設(shè)有傾斜夾角，載片測(cè)試臺(tái)端面外側(cè)設(shè)第一和第二激光位移傳感，第一激光位移傳感和第二激光位移傳感通過相互對(duì)射以測(cè)量設(shè)置于兩激光位移傳感間的壓電片的直徑尺寸；載片測(cè)試臺(tái)上方處設(shè)第三激光位移傳感，第三激光位移傳感通過發(fā)射激光并照射于載片測(cè)試臺(tái)端面上以測(cè)量設(shè)置于第三激光位移傳感和載片測(cè)試臺(tái)端面間的壓電片的厚度尺寸；通過直徑測(cè)量結(jié)果，計(jì)算兩個(gè)或多個(gè)直徑的數(shù)值偏離范圍，作為壓電片的圓度；使得同一測(cè)量裝置能同時(shí)完成壓電片的直徑、圓度和厚度測(cè)量，無需反復(fù)拆裝，降低測(cè)量所耗時(shí)間，提高了壓電片測(cè)量的效率。