一種用于浸沒式光刻機的浸液供給回收裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010055161.6 申請日 -
公開（公告）號 CN113138538A 公開（公告）日 2021-07-20
申請公布號 CN113138538A 申請公布日 2021-07-20
分類號 G03F7/20（2006.01）I 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 不公告發(fā)明人 申請（專利權(quán)）人 浙江啟爾機電技術(shù)有限公司
代理機構(gòu) 杭州君度專利代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 朱亞冠
地址 310000浙江省杭州市臨安市青山湖街道大園路958號科創(chuàng)大樓1幢301-305-01室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種用于浸沒式光刻機的浸液供給回收裝置。所述裝置包包括浸液供給通道、浸液回收通道以及抽排開口，在抽排開口和注氣開口之間設(shè)置緩沖腔，使彎液面在向外運動時壓縮緩沖腔；緩沖腔受壓縮后會增強氣密封壓力，提高氣密封對彎液面的約束效果。設(shè)計注氣開口到抽排開口的流道流阻顯著小于注氣開口到外部開放環(huán)境的流道流阻，使來自注氣開口的密封氣體大部分流向緩沖腔和抽排開口，可以增大緩沖腔對襯底運動速度的適應(yīng)范圍。