一種具有新型抽排腔的浸液供給回收裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010055888.4 申請日 -
公開（公告）號 CN113138541A 公開（公告）日 2021-07-20
申請公布號 CN113138541A 申請公布日 2021-07-20
分類號 G03F7/20（2006.01）I 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 不公告發(fā)明人 申請（專利權(quán)）人 浙江啟爾機(jī)電技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 杭州君度專利代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 朱亞冠
地址 310000浙江省杭州市臨安市青山湖街道大園路958號科創(chuàng)大樓1幢301-305-01室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種具有新型抽排腔的浸液供給回收裝置。本發(fā)明包括抽排開口、抽排腔以及密封抽排通道，所述的抽排腔通過多個與抽排開口與浸沒流場連通，不同抽排腔連通的抽排開口沿周向交叉排布；抽排腔至少有兩個，每個抽排腔分別通過一個密封抽排通道與浸液回收系統(tǒng)連通；各個抽排腔與密封抽排通道的連通點(diǎn)沿抽排腔周向均勻布置。本發(fā)明通過將浸液抽排開口交叉引入多個抽排腔再被密封抽排通道抽排的方法，使不同的抽排腔和密封抽排通道始終同時處理高流量負(fù)載和低流量負(fù)載的抽排開口，改善了浸液回收通道的負(fù)載均衡能力，提高了維持浸沒流場密封的穩(wěn)定性、抑制氣液兩相流型改變所引發(fā)的振動特性和熱傳導(dǎo)特性波動問題，從而提高曝光質(zhì)量。