一種制備炭材料的化學(xué)氣相沉積設(shè)備

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202121398198.5 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN215365974U 公開(kāi)（公告）日 2021-12-31
申請(qǐng)公布號(hào) CN215365974U 申請(qǐng)公布日 2021-12-31
分類(lèi)號(hào) C23C16/26（2006.01）I;C23C16/50（2006.01）I 分類(lèi) 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 林巍;羅雪;丁潔 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 廈門(mén)中材航特科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廈門(mén)市新華專(zhuān)利商標(biāo)代理有限公司 代理人 盧麗紅
地址 361000福建省廈門(mén)市火炬高新區(qū)軟件園創(chuàng)新大廈C區(qū)3F-A484
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種制備炭材料的化學(xué)氣相沉積設(shè)備，設(shè)備內(nèi)設(shè)有混氣罐及沉積室，工件放置于沉積室內(nèi)，碳源氣體及惰性載氣在混氣罐中混合后通入沉積室，混氣罐前側(cè)加裝有可對(duì)碳源氣體進(jìn)行電弧加熱并電離的真空電弧發(fā)生器，經(jīng)電弧加熱并電離的碳源氣體進(jìn)入混氣罐后和惰性載氣混合。本實(shí)用新型可令碳源氣體將變得易裂解，從而提高碳源氣體使用率，有效的降低炭黑、焦油等副產(chǎn)物的生成。