一種單向微濾閥及具有該單向微濾閥的真空設(shè)備

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202123346849.9 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)(公告)號(hào) CN216555527U 公開(kāi)(公告)日 2022-05-17
申請(qǐng)公布號(hào) CN216555527U 申請(qǐng)公布日 2022-05-17
分類號(hào) F16K15/06(2006.01)I;F16K1/36(2006.01)I;F16K1/46(2006.01)I;F16K47/08(2006.01)I;B01D46/00(2022.01)I 分類 工程元件或部件;為產(chǎn)生和保持機(jī)器或設(shè)備的有效運(yùn)行的一般措施;一般絕熱;
發(fā)明人 岳向成 申請(qǐng)(專利權(quán))人 川北真空科技(北京)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京三聚陽(yáng)光知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 -
地址 102200北京市昌平區(qū)振興路36號(hào)5樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型提供一種單向微濾閥及具有該單向微濾閥的真空設(shè)備,屬于真空設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域,其中,單向微濾閥包括:閥體、閥芯、彈性件、微濾件和節(jié)流塞,所述閥芯滑動(dòng)設(shè)置在閥體內(nèi);所述彈性件連接所述閥芯,具有使所述閥芯朝向?qū)⑺隽魍ㄍǖ婪忾]的方向進(jìn)行移動(dòng)的彈性力;微濾件,設(shè)置在所述流通通道內(nèi),用于過(guò)濾流通在所述流通通道的流體;節(jié)流塞,設(shè)置在所述閥體的進(jìn)口段內(nèi),具有與所述微濾件連通的節(jié)流孔;本實(shí)用新型的單向微濾閥,在進(jìn)口段內(nèi)通過(guò)節(jié)流塞配合微濾件,實(shí)現(xiàn)超低流量的通過(guò),并通過(guò)微濾件保證通過(guò)的流體具有超高潔凈度,從而保證流體能夠進(jìn)行超低流量和超高潔凈度的單向?qū)ā?/td>