一種在線實時檢測外延片溫度的裝置及方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201310651743.0 申請日 -
公開（公告）號 CN104697645B 公開（公告）日 2017-11-03
申請公布號 CN104697645B 申請公布日 2017-11-03
分類號 G01J5/52(2006.01)I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 嚴冬;馬鐵中;王林梓;劉健鵬 申請（專利權(quán)）人 昂坤視覺（北京）科技有限公司
代理機構(gòu) 北京華沛德權(quán)律師事務所 代理人 北京智朗芯光科技有限公司;昂坤視覺（北京）科技有限公司
地址 102206 北京市昌平區(qū)昌平路97號新元科技園B座503室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種在線實時檢測外延片溫度的裝置及方法，屬于半導體檢測技術(shù)領域。該裝置包括MOCVD反應腔、光源、分束器、參考光探測器、反射光探測器和數(shù)據(jù)采集單元。該方法以該裝置為基礎，能夠得到針對外延片的反應腔窗口鍍膜引起的熱輻射衰減因子和反應腔窗口鍍膜引起的反射率衰減因子。該裝置及方法能夠消除反應腔窗口鍍膜對在線實時溫度檢測值造成的影響、提高在線實時溫度檢測值準確度。