沉降式自蔓延硅氮化物的制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910405659.8 申請日 -
公開（公告）號 CN110294465B 公開（公告）日 2020-05-01
申請公布號 CN110294465B 申請公布日 2020-05-01
分類號 C01B21/068;C04B35/584;C04B35/64;C04B35/65 分類 無機(jī)化學(xué);
發(fā)明人 杜文貴;秦軍 申請（專利權(quán)）人 寧夏秦氏新材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 代理人 寧夏秦氏新材料有限公司
地址 753000 寧夏回族自治區(qū)石嘴山市大武口區(qū)科技金融廣場H號樓1樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種沉降式自蔓延硅氮化物的制備方法，其中包括：將含硅固料由固料入口導(dǎo)入沉降式反應(yīng)器爐體；將氮氣通過氣體入口通入爐體；含硅固料和氮氣在爐體內(nèi)進(jìn)行自蔓延反應(yīng)生成硅氮化物；硅氮化物沉降至爐體底部后通過出料口輸出。本發(fā)明的沉降式自蔓延硅氮化物制備方法通過沉降式方式進(jìn)行制備，可以實現(xiàn)硅氮化物的連續(xù)合成。