三自由度諧振硅微機(jī)械陀螺儀

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201110136711.8 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN102798386A 公開（公告）日 2012-11-28
申請(qǐng)公布號(hào) CN102798386A 申請(qǐng)公布日 2012-11-28
分類號(hào) G01C19/5684(2012.01)I;B81B3/00(2006.01)I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 劉勝;羅璋;陳君杰 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 上海飛恩微電子有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海市華誠(chéng)律師事務(wù)所 代理人 李平
地址 201203 上海市浦東新區(qū)張江碧波路500號(hào)309室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種三自由度諧振硅微機(jī)械陀螺儀，包括：玻璃襯底、外框架、一級(jí)感應(yīng)振動(dòng)框架、二級(jí)感應(yīng)振動(dòng)質(zhì)量塊、彈性梁、固定梳齒、敏感梳狀電極、折疊梁、錨點(diǎn)，陀螺儀由上下兩層組成，其特征在于外框架經(jīng)彈性梁固定于錨點(diǎn)之上，錨點(diǎn)安裝在下層的玻璃襯底上，外框架的兩側(cè)設(shè)有兩組直形梳狀靜電諧振器，二級(jí)感應(yīng)振動(dòng)質(zhì)量塊經(jīng)折疊梁與一級(jí)感應(yīng)振動(dòng)框架相連，一級(jí)感應(yīng)振動(dòng)框架經(jīng)彈性梁安裝在外框架上，一級(jí)感應(yīng)振動(dòng)框架和二級(jí)感應(yīng)振動(dòng)質(zhì)量塊的兩側(cè)各設(shè)有兩組直線形敏感梳狀電極。本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)是利用單自由度驅(qū)動(dòng)模態(tài)、兩個(gè)自由度的檢測(cè)模態(tài)來提高抗干擾能力的微機(jī)械陀螺儀，該微機(jī)械陀螺儀容差能力強(qiáng)、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、易于加工。