一種單晶爐用外置式吸雜加料方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110940923.5 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113584573A 公開（公告）日 2021-11-02
申請(qǐng)公布號(hào) CN113584573A 申請(qǐng)公布日 2021-11-02
分類號(hào) C30B15/02（2006.01）I;C30B15/00（2006.01）I;C30B29/06（2006.01）I 分類 晶體生長(zhǎng)〔3〕;
發(fā)明人 陳懷斌 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 江蘇神匯新型陶瓷材料科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 連云港潤(rùn)知專利代理事務(wù)所 代理人 馬強(qiáng)
地址 222000江蘇省連云港市東?？h東經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)晶都大道東路938號(hào)5號(hào)廠房
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種單晶爐用外置式吸雜加料方法，使用安全殼、吸雜罐和加料器；吸雜罐用于放入安全殼對(duì)單晶爐進(jìn)行吸雜操作，加料器用于放入安全殼對(duì)單晶爐進(jìn)行加料操作；安全殼固定于支架上，其一端通過隔離閥與單晶爐主爐室的爐筒或爐蓋連接，安全殼的另一端設(shè)置有密封蓋，根據(jù)吸雜加料操作需要與外界隔離或開放；安全殼底部一側(cè)安裝有伸縮機(jī)構(gòu)，伸縮機(jī)構(gòu)上設(shè)置有固定吸雜罐的結(jié)構(gòu)，并通過自帶的軌道安裝于安全殼底部，吸雜罐則安裝固定在伸縮機(jī)構(gòu)上，由伸縮機(jī)構(gòu)帶動(dòng)可沿著安全殼內(nèi)固定的軌道前后移動(dòng)。該裝方法能夠?qū)尉t吸雜、加料操作，既能夠增加單晶爐的單爐投料量和拉棒根數(shù)，又能降低多次拉棒所引起的晶棒間的質(zhì)量差異性，大大提高單晶生長(zhǎng)質(zhì)量。