一種晶圓的檢測(cè)方法、濺射設(shè)備及計(jì)算機(jī)可讀存儲(chǔ)介質(zhì)
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202210085641.6 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN114496853A | 公開（公告）日 | 2022-05-13 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN114496853A | 申請(qǐng)公布日 | 2022-05-13 |
| 分類號(hào) | H01L21/67（2006.01）I;C23C14/34（2006.01）I;C23C14/54（2006.01）I;C23C14/56（2006.01）I | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 萬燕清;解巖;蔡浩杰 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 無錫尚積半導(dǎo)體科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 蘇州京昀知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 214135江蘇省無錫市新吳區(qū)長江南路35-312號(hào)廠房 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開了一種晶圓的檢測(cè)方法、濺射設(shè)備及計(jì)算機(jī)可讀存儲(chǔ)介質(zhì)，涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域。晶圓的檢測(cè)方法包括：控制傳送手臂拿取位于上料腔中的晶圓；控制位于上料腔上方的傳感器的發(fā)射端向下發(fā)射檢測(cè)信號(hào)；判斷是否接收到傳感器發(fā)出的偏移信號(hào)，偏移信號(hào)由傳感器生成并發(fā)出，當(dāng)發(fā)射端發(fā)出檢測(cè)信號(hào)后的預(yù)設(shè)時(shí)間間隔內(nèi)，位于上料腔下方的傳感器的接收端未接收到檢測(cè)信號(hào)時(shí)，傳感器生成偏移信號(hào)；若接收到偏移信號(hào)，則判定晶圓發(fā)生偏移，并控制濺射設(shè)備的報(bào)警裝置發(fā)出警報(bào)信號(hào)。通過本發(fā)明，能夠?qū)ι狭锨恢械木A位置進(jìn)行檢測(cè)，使用戶及時(shí)地獲取到晶圓偏移的信息。 |
