MEMS系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110680900.5 申請日 -
公開（公告）號 CN113423050A 公開（公告）日 2021-09-21
申請公布號 CN113423050A 申請公布日 2021-09-21
分類號 H04R19/04（2006.01）I 分類 電通信技術;
發(fā)明人 周延青;潘華兵;鄭泉智;胡鐵剛 申請（專利權）人 杭州士蘭微電子股份有限公司
代理機構 上海思捷知識產(chǎn)權代理有限公司 代理人 劉暢
地址 310012浙江省杭州市黃姑山路4號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種MEMS系統(tǒng)，差分電容式MEMS傳感模塊接入偏置電壓及預定電壓，差分電容式MEMS傳感模塊的差分電容在外部的聲音信號的激勵下產(chǎn)生電容變化量，差分電容中的一個MEMS電容上的信號可以耦合到另一個MEMS電容上的信號一起輸出，在MEMS部分完成了差分轉單端的功能，體現(xiàn)為差分電容式MEMS傳感模塊輸出的第一電壓信號通過一個輸出端輸出，實現(xiàn)了差分電容式MEMS傳感模塊的單端輸出，信號處理模塊只對第一電壓信號進行信號處理，可兼容普通的單輸入的信號處理模塊，無需重新設計信號處理模塊。