2，2，4，4-四甲硅烷基五硅烷及其組合物、方法和用途

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201480054107.2 申請日 -
公開（公告）號 CN105593233B 公開（公告）日 2018-04-27
申請公布號 CN105593233B 申請公布日 2018-04-27
分類號 C07F7/02;C01B33/04;C23C16/24;H01L21/02 分類 有機化學〔2〕;
發(fā)明人 蕭冰·周 申請（專利權）人 南大光電半導體材料有限公司
代理機構 上海專利商標事務所有限公司 代理人 道康寧公司;美國陶氏有機硅公司
地址 江蘇省蘇州市蘇州工業(yè)園區(qū)勝浦鎮(zhèn)平勝路67號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了作為2，2，4，4?四甲硅烷基五硅烷的化合物、包含其的化學組合物、制備和純化2，2，4，4?四甲硅烷基五硅烷的方法、由此制備的純化的2，2，4，4?四甲硅烷基五硅烷以及使用2，2，4，4?四甲硅烷基五硅烷作為前體來形成含硅材料的方法。