三(乙硅烷基)胺

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201680070868.6 申請日 -
公開（公告）號 CN108431012A 公開（公告）日 2018-08-21
申請公布號 CN108431012A 申請公布日 2018-08-21
分類號 C07F7/02;C07F7/20;H01L21/02 分類 有機(jī)化學(xué)〔2〕;
發(fā)明人 B·D·瑞肯;X·周;B·K·黃;B·凱托拉 申請（專利權(quán)）人 南大光電半導(dǎo)體材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京泛華偉業(yè)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 美國陶氏有機(jī)硅公司
地址 239000 安徽省滁州市全椒縣十字鎮(zhèn)十譚產(chǎn)業(yè)園新城大道117號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種用于制備三(乙硅烷基)胺的方法。所述方法包括以下步驟：(a)使乙硅烷基(烷基)胺與氨接觸以制備二(乙硅烷基)胺；以及(b)使二(乙硅烷基)胺制備三(乙硅烷基)胺和氨。