三（乙硅烷基）胺

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201680070868.6 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN108431012B 公開(kāi)（公告）日 2021-01-26
申請(qǐng)公布號(hào) CN108431012B 申請(qǐng)公布日 2021-01-26
分類(lèi)號(hào) C07F7/02;C07F7/20;H01L21/02 分類(lèi) 有機(jī)化學(xué)〔2〕;
發(fā)明人 B·D·瑞肯;X·周;B·K·黃;B·凱托拉 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 南大光電半導(dǎo)體材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海專(zhuān)利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 代理人 郭輝;陳哲鋒
地址 215126 江蘇省蘇州市蘇州工業(yè)園區(qū)勝浦鎮(zhèn)平勝路67號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種用于制備三（乙硅烷基）胺的方法。所述方法包括以下步驟：（a）使乙硅烷基（烷基）胺與氨接觸以制備二（乙硅烷基）胺；以及（b）使二（乙硅烷基）胺制備三（乙硅烷基）胺和氨。