制備五氯二硅烷的方法和包含其的純化反應(yīng)產(chǎn)物

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201880058352.9 申請日 -
公開（公告）號 CN111065602A 公開（公告）日 2020-04-24
申請公布號 CN111065602A 申請公布日 2020-04-24
分類號 C01B33/107;B01D3/00 分類 無機化學(xué);
發(fā)明人 B·凱托拉;N·莫厄爾昌;J·楊;X·周 申請（專利權(quán)）人 南大光電半導(dǎo)體材料有限公司
代理機構(gòu) 北京泛華偉業(yè)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 DDP特種電子材料美國第9有限公司
地址 239000 安徽省滁州市全椒縣十字鎮(zhèn)十譚產(chǎn)業(yè)園新城大道117號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 公開了一種制備五氯二硅烷的方法。所述方法包括用金屬氫化物化合物部分還原六氯二硅烷，以得到包含五氯二硅烷的反應(yīng)產(chǎn)物。所述方法進一步包括純化所述反應(yīng)產(chǎn)物，以得到包含所述五氯二硅烷的純化反應(yīng)產(chǎn)物。還公開了包含根據(jù)所述方法形成的五氯二硅烷的純化反應(yīng)產(chǎn)物。