一種硅片紅外烘烤裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202021645492.7 申請日 -
公開（公告）號 CN213631342U 公開（公告）日 2021-07-06
申請公布號 CN213631342U 申請公布日 2021-07-06
分類號 F26B11/18;F26B3/30;F26B25/18;F26B25/00;F26B25/02;F26B25/12 分類 干燥;
發(fā)明人 初亞東 申請（專利權(quán)）人 天津天物金佰微電子有限公司
代理機(jī)構(gòu) 天津企興智財(cái)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 李彥彥
地址 300385 天津市西青區(qū)經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)賽達(dá)工業(yè)園5號廠房
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型提供了一種硅片紅外烘烤裝置，包括工作臺、轉(zhuǎn)盤、FFU風(fēng)機(jī)過濾機(jī)組、片籃；所述工作臺為三層結(jié)構(gòu)，中間層設(shè)有與轉(zhuǎn)盤對應(yīng)的安裝位，底層設(shè)有用于驅(qū)動轉(zhuǎn)盤轉(zhuǎn)動的驅(qū)動組件，上層用于安裝FFU風(fēng)機(jī)過濾機(jī)組；所述中間層還設(shè)有柱形外殼，轉(zhuǎn)盤置于柱形外殼內(nèi)；所述轉(zhuǎn)盤上設(shè)有若干用于放置片籃的工作位；所述柱形外殼頂部中心向上延伸設(shè)有錐形結(jié)構(gòu)，錐形結(jié)構(gòu)頂部為排風(fēng)口；所述柱形外殼頂部錐形結(jié)構(gòu)四周設(shè)有若干送風(fēng)口，所述送風(fēng)口通過風(fēng)管連接FFU風(fēng)機(jī)過濾機(jī)組。本實(shí)用新型所述的一種硅片紅外烘烤裝置，采用FFU風(fēng)機(jī)過濾機(jī)組送風(fēng)，烘烤過程更潔凈；多工位工作，可以放置更多的硅片片籃，烘烤效率更高；采用紅外燈與轉(zhuǎn)盤的組合，使烘烤效果更好。