一種便捷加料的真空鍍膜設(shè)備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202023074471.7 申請日 -
公開（公告）號 CN214142509U 公開（公告）日 2021-09-07
申請公布號 CN214142509U 申請公布日 2021-09-07
分類號 C23C14/24（2006.01）I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 任夫洋;蘇建;崔慶尚;陳吉慧;鄭兆河 申請（專利權(quán)）人 山東華光光電子股份有限公司
代理機構(gòu) 濟南金迪知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 陳桂玲
地址 250101山東省濟南市歷下區(qū)高新區(qū)天辰大街1835號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及一種便捷加料的真空鍍膜設(shè)備，包括真空腔體、坩堝、坩堝加熱單元和穿過真空腔體側(cè)壁的加料裝置；所述加料裝置包括儲料盒、儲料盒擋板、擋板拉桿、磁性導(dǎo)環(huán)和固定于真空腔體側(cè)壁上的拉桿套筒；儲料盒位于真空腔體內(nèi)的一端設(shè)有開口，儲料盒位于真空腔體外的一端由儲料盒盲板密封；所述儲料盒的開口處設(shè)置有控制開口開合的儲料盒擋板，擋板拉桿下端連接于儲料盒擋板，擋板拉桿上端連接于拉桿套筒，拉桿套筒外表面設(shè)置有磁性導(dǎo)環(huán)。本實用新型提供的便捷加料的真空鍍膜設(shè)備通過磁性導(dǎo)環(huán)的磁性牽引金屬擋板拉桿，進而移動儲料盒擋板完成自主加料，顯著延長了設(shè)備破空開腔周期，提高了設(shè)備利用效率，保證了連續(xù)生產(chǎn)，降低了生產(chǎn)成本。