一種晶圓對中裝置及去膠機

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120667663.4 申請日 -
公開（公告）號 CN214313153U 公開（公告）日 2021-09-28
申請公布號 CN214313153U 申請公布日 2021-09-28
分類號 H01L21/67（2006.01）I;H01L21/68（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 汪鋼;劉曉龍 申請（專利權(quán)）人 寧波潤華全芯微電子設備有限公司
代理機構(gòu) 浙江中桓凱通專利代理有限公司 代理人 李美寶
地址 315400浙江省寧波市余姚市陽明街道新橋村村口1號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種晶圓對中裝置及去膠機，所述晶圓對中裝置包括：至少一個晶圓安裝支架，每個所述晶圓安裝支架環(huán)繞形成晶圓安裝位，所述晶圓安裝支架的至少一側(cè)設有夾持開口，所述夾持開口連通所述晶圓安裝位，每個所述晶圓安裝支架包括：導向件，設有導向面朝向所述晶圓安裝位。本實用新型解決了夾持裝置在夾持晶圓前無法準確地定位晶圓中心的問題。