一種便于拆卸的防止反濺液體污染晶圓的裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111035548.6 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113467199A 公開（公告）日 2021-10-01
申請(qǐng)公布號(hào) CN113467199A 申請(qǐng)公布日 2021-10-01
分類號(hào) G03F7/30（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 劉長(zhǎng)偉;耿克濤;袁創(chuàng)迪;劉金 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 寧波潤(rùn)華全芯微電子設(shè)備有限公司
代理機(jī)構(gòu) 浙江中桓凱通專利代理有限公司 代理人 劉瀟
地址 315400浙江省寧波市余姚市陽明街道新橋村村口1號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種便于拆卸的防止反濺液體污染晶圓的裝置，所述防止反濺液體污染晶圓的裝置包括：廢液收集整流杯；廢液收集整流杯支撐件，所述廢液收集整流杯支撐件用于支撐所述廢液收集整流杯；至少一個(gè)升降主動(dòng)件，所述升降主動(dòng)件設(shè)于所述廢液收集整流杯的任意一側(cè)，所述升降主動(dòng)件用于控制所述廢液收集整流杯升降運(yùn)動(dòng)；至少一個(gè)平動(dòng)主動(dòng)件，所述平動(dòng)主動(dòng)件與所述升降主動(dòng)件滑動(dòng)連接，所述平動(dòng)主動(dòng)件用于控制所述廢液收集整流杯水平運(yùn)動(dòng)；其中，所述升降主動(dòng)件連接所述廢液收集整流杯支撐件，或所述平動(dòng)主動(dòng)件連接所述廢液收集整流杯支撐件。本發(fā)明有效解決更換廢液收集整流杯時(shí)，更換空間較小，操作不方便的問題。