一種帶位置檢測(cè)功能的晶圓傳輸機(jī)械手
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202110642044.4 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN113436992A | 公開（公告）日 | 2021-09-24 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN113436992A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-09-24 |
| 分類號(hào) | H01L21/67（2006.01）I;H01L21/68（2006.01）I;H01L21/687（2006.01）I | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 王沖;傅立超 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 寧波潤(rùn)華全芯微電子設(shè)備有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 杭州杭誠(chéng)專利事務(wù)所有限公司 | 代理人 | 高凌 |
| 地址 | 315400浙江省寧波市余姚市新橋村村委東首 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開了一種帶位置檢測(cè)功能的晶圓傳輸機(jī)械手，涉及機(jī)械手技術(shù)領(lǐng)域；包括底座、和底座滑動(dòng)連接的用以支撐晶圓的手指、用以驅(qū)動(dòng)手指在底座上運(yùn)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)裝置、若干組和底座固接的對(duì)射傳感器、用以移動(dòng)底座的機(jī)械臂；對(duì)射傳感器的組數(shù)量至少組，對(duì)射傳感器處于一個(gè)虛擬圓上，虛擬圓的半徑和晶圓的半徑適配；手指包括和底座滑動(dòng)連接的滑塊、和滑塊固接的呈C字形的指部、位于指部?jī)?nèi)側(cè)的若干用以給晶圓限位的限位塊、和限位塊固接的用以支撐晶圓下側(cè)的支撐板；對(duì)于標(biāo)準(zhǔn)尺寸的晶圓，其半徑標(biāo)準(zhǔn)，限位塊均抵靠在晶圓的邊緣處，將該晶圓的圓心相對(duì)手指的位置命名為真圓心。本發(fā)明晶圓放置精度高。另外，采用兩個(gè)手指交替?zhèn)鬏?，提高效率?/td> |
