低電容高速傳輸半導體浪涌保護器件

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201110117873.7 申請日 -
公開(公告)號 CN102769026A 公開(公告)日 2012-11-07
申請公布號 CN102769026A 申請公布日 2012-11-07
分類號 H01L29/06(2006.01)I;H01L29/74(2006.01)I;H02H9/04(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 肖志良 申請(專利權)人 江蘇錦豐電子有限公司
代理機構 南京天華專利代理有限責任公司 代理人 夏平
地址 214205 江蘇省無錫市宜興環(huán)??萍脊I(yè)園綠園路508號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種低電容高速傳輸半導體浪涌保護器件,PN結為扁平PN結平衡結;半導體浪涌保護器件的發(fā)射區(qū)分兩次注入;的P-區(qū)的厚度加深10%-20%;N-區(qū)的厚度減薄10-20%;N+襯底為雙面拋光的硅片,片厚200-300μm,電阻率為20-22%。本發(fā)明采用扃平PN結平衡結結構,改善電流密度分布。采用加深P-區(qū)厚度、發(fā)射區(qū)兩次注入、場板等技術提高了控制管EB結反向擊穿電壓,解決了EB結反向擊穿電壓與β的矛盾:通過對四重結構晶閘管的NPN的β的控制,解決了維持電流及轉折電流的控制問題:通過降低接觸電壓、減薄N-區(qū)、提高少子壽命。