一種手動探針測試工作臺

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202123357576.8 申請日 -
公開（公告）號 CN216646581U 公開（公告）日 2022-05-31
申請公布號 CN216646581U 申請公布日 2022-05-31
分類號 G01R1/04（2006.01）I;G01R1/067（2006.01）I;B25B11/00（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 孟恒;劉君;孔魯 申請（專利權(quán)）人 山東晶導(dǎo)微電子股份有限公司
代理機構(gòu) 濟寧匯景知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 -
地址 273100山東省濟寧市曲阜市春秋東路166號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請公開一種手動探針測試工作臺，包括載臺底座、XY軸移動平臺、Z軸移動平臺和測試裝置；所述XY軸移動平臺以能夠在水平方向移動的方式被設(shè)置于所述載臺底座，且所述XY軸移動平臺的頂面設(shè)置有絕緣座，所述絕緣座的頂部設(shè)置有銅板；所述Z軸移動平臺以能夠在豎直方向移動的方式被設(shè)置于所述載臺底座，并位于所述XY軸移動平臺的正上方，所述Z軸移動平臺于水平方向設(shè)置有正對所述銅板的環(huán)形槽；所述測試裝置包括顯像元件和探邊元件，其中所述顯像元件以在所述Z軸移動平臺的上方正對所述銅板的方式固定設(shè)置于所述載臺底座，所述探邊元件被固定設(shè)置于所述環(huán)形槽的側(cè)壁。本申請能夠快速、穩(wěn)定、準確的測試半導(dǎo)體元件，尤其是小顆粒晶體。