大尺寸、無(wú)中間缺陷的ITO平面靶素坯生產(chǎn)方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110345069.8 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN112917643A 公開(kāi)（公告）日 2021-06-08
申請(qǐng)公布號(hào) CN112917643A 申請(qǐng)公布日 2021-06-08
分類號(hào) B28B1/26;B28B7/00;B28B7/34;B28B7/46;B28B7/42;B28B11/24 分類 加工水泥、黏土或石料;
發(fā)明人 王玉軍;楊建新;劉洪福;劉志猛 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 河北惟新科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 050000 河北省石家莊市高新區(qū)長(zhǎng)江大道238號(hào)宏昌科技園7號(hào)樓一層102、106室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種大尺寸、無(wú)中間缺陷的ITO平面靶素坯生產(chǎn)方法，具體包括以下步驟：制備ITO漿料；將制備的漿料加入到多孔樹(shù)脂模具中，制備ITO平面靶坯體；在純氧氣氛中，將ITO平面靶坯體放入燒結(jié)爐中進(jìn)行燒結(jié)，得到ITO平面靶素坯。本發(fā)明通過(guò)在坯體制備階段采用多孔樹(shù)脂模具以及在燒結(jié)工序中采用多層燒結(jié)進(jìn)氣方法，不僅可以生產(chǎn)出致密度高、合格率高的優(yōu)質(zhì)ITO平面靶，而且還大大降低了能耗，節(jié)約了生產(chǎn)成本，提高了生產(chǎn)效率，為低成本ITO平面靶的國(guó)產(chǎn)化提供了可行性方案。