一種諧振式MEMS壓力傳感器

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201911112792.0 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN110803675A 公開(kāi)（公告）日 2020-02-18
申請(qǐng)公布號(hào) CN110803675A 申請(qǐng)公布日 2020-02-18
分類(lèi)號(hào) B81B3/00;B81B7/00;B81B7/02;G01L1/10;G01L9/00 分類(lèi) 微觀結(jié)構(gòu)技術(shù)〔7〕;
發(fā)明人 王輝 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 無(wú)錫萊斯能特科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海智威知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 無(wú)錫萊斯能特科技有限公司
地址 214000 江蘇省無(wú)錫市新吳區(qū)菱湖大道111號(hào)無(wú)錫軟件園天鵝座D棟2502室-003
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種諧振式MEMS壓力傳感器，包括：敏感膜；至少一根諧振梁，諧振梁的兩端分別通過(guò)第一錨點(diǎn)和第二錨點(diǎn)固定在敏感膜上；至少一個(gè)驅(qū)動(dòng)器，用于驅(qū)動(dòng)諧振梁；至少一個(gè)檢測(cè)器，用于檢測(cè)諧振梁的諧振頻率；轉(zhuǎn)向機(jī)構(gòu)，與諧振梁連接，還與驅(qū)動(dòng)器和檢測(cè)器中的一個(gè)或兩個(gè)連接，使得驅(qū)動(dòng)器和檢測(cè)器中的一個(gè)或兩個(gè)的運(yùn)動(dòng)方向正交于諧振梁的運(yùn)動(dòng)方向。通過(guò)轉(zhuǎn)向機(jī)構(gòu)，減少驅(qū)動(dòng)器和/或檢測(cè)器由敏感膜面外運(yùn)動(dòng)產(chǎn)生的位移，從而減小驅(qū)動(dòng)器和/或檢測(cè)器的靜態(tài)電容值的變化，達(dá)到提高諧振式MEMS壓力傳感器精確度，減少相位誤差和非線(xiàn)性問(wèn)題。