一種印刷半導(dǎo)體集成制造設(shè)備

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201510035707.0 申請(qǐng)日 -
公開(公告)號(hào) CN104608507A 公開(公告)日 2015-05-13
申請(qǐng)公布號(hào) CN104608507A 申請(qǐng)公布日 2015-05-13
分類號(hào) B41J3/44(2006.01)I;B41J3/54(2006.01)I 分類 印刷;排版機(jī);打字機(jī);模印機(jī)〔4〕;
發(fā)明人 武倩;邊惠;郭小軍 申請(qǐng)(專利權(quán))人 南京華印半導(dǎo)體有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京瑞弘專利商標(biāo)事務(wù)所(普通合伙) 代理人 陳建和
地址 210046 江蘇省南京市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)興科路12號(hào)紫金新港(南西)科創(chuàng)基地101-3室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 印刷半導(dǎo)體集成制造設(shè)備,包括設(shè)備底座(11),設(shè)備底座(11)上設(shè)有橫向位移平臺(tái)(13)、移動(dòng)基座及加熱平臺(tái)(14)和柔性基底卷設(shè)備(18)用于印刷半導(dǎo)體柔性基底材料的放卷按尺寸切割并固定且能移動(dòng)、加熱,以及柔性基底材料基上印刷半導(dǎo)體集成制造的平臺(tái),設(shè)備底座上另設(shè)有打印系統(tǒng)及UV燈(12),設(shè)有電腦控制系統(tǒng),用于控制移動(dòng)基座及加熱平臺(tái)(14)在橫向位移平臺(tái)(13)的移動(dòng)、定位、工作,打印系統(tǒng)及UV燈(12)的工作。通過巧妙設(shè)計(jì)移動(dòng)基座,將上述系統(tǒng)集成在一起工作,而無需移動(dòng)器件基底,實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)過程的快速對(duì)準(zhǔn)。同時(shí)將上述系統(tǒng)控制集成在一個(gè)設(shè)備中,降低了成本,實(shí)現(xiàn)了操作的簡化。