一種多晶硅生產(chǎn)中聚氯硅烷處理裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201911101620.3 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN110627071B 公開（公告）日 2021-08-10
申請(qǐng)公布號(hào) CN110627071B 申請(qǐng)公布日 2021-08-10
分類號(hào) C01B33/107 分類 無機(jī)化學(xué);
發(fā)明人 李斌;羅周;向春林;宋壘 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 四川永祥新能源有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 趙煥
地址 614800 四川省樂山市五通橋區(qū)龍翔路999號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種多晶硅生產(chǎn)中聚氯硅烷廢料的處理裝置，包括：裂解罐，裂解罐具有聚氯硅烷廢料進(jìn)口和氯化氫進(jìn)口，聚氯硅烷廢料進(jìn)口供聚氯硅烷廢料進(jìn)入，氯化氫進(jìn)口供氯化氫進(jìn)入；蒸發(fā)罐，蒸發(fā)罐的進(jìn)口與裂解罐的出口連通；三氯硅烷收集罐和四氯硅烷收集罐，蒸發(fā)罐的出口與三氯硅烷收集罐和四氯硅烷收集罐連通。在本發(fā)明中，裂解罐中設(shè)置有樹脂，聚氯硅烷廢料和氯化氫在樹脂的催化作用下發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，生產(chǎn)三氯氫硅及四氯化硅。反應(yīng)物進(jìn)入到蒸發(fā)罐中，在蒸發(fā)罐的蒸發(fā)作用下，三氯氫硅和四氯化硅分離，并分別進(jìn)入到三氯硅烷收集罐和四氯硅烷收集罐中。本發(fā)明中的處理裝置能夠回收聚氯硅烷廢料中的氯硅烷，從而節(jié)約了能源，減少了排放量。